Industriële sector:Opto-elektronica en precieze optica
Toepassing:Wafer-Level Optics (WLO), Fresnel-lenzen en diffractie roosterfabricage
Vervaardiging:High-Uniformity UV LED Flood Curing System (golflengte 365 nm)
Een fabrikant van optische componenten van hoge technologie had moeite met de opbrengst tijdens de blootstellings- en verhardingsfase van de fabricage van microlens op waferniveau.
-
Verlichtingsinconsistentie:Traditionele UV-lampen konden geen gelijkmatige lichtverdeling bieden over grote substraatoppervlakken.
-
Thermische expansie:Overmatige infraroodwarmte vervormde delicate sub-micron lensstructuren tijdens de fotolithografie en het houtproces.
In plaats van traditionele kwiklampen of afgifte methoden, hebben wij eenHigh-Uniformity UV LED Flood Curing-systeemspeciaal ontworpen voor de optische verwerking van halfgeleiders:
-
Expositie aan met spin gecoate hars:Het systeem zorgt ervoor dat het hele oppervlak direct wordt blootgesteld aan overstroming door middel van een fotomasker.
-
Geavanceerd optisch ontwerp:Op maat gemaakte lenzen optimaliseren de lichtverdeling, wat resulteert in een toonaangevendeUniformiteit van de straling binnen ± 3%over het gehele verhardingsgebied.
-
Echte koude lichtbron:Werkend op een precieze365 nm smalbandspectrumHet systeem elimineert infraroodstraling en houdt het substraat bij kamertemperatuur om de microstructuur tegen thermische vervorming te beschermen.
-
Onberispelijke productconsistentie:De afstotingspercentages als gevolg van tekortkomingen in de randharding zijn gedaald totnul, dankzij het ultra-eenvormige UV-lichtveld.
-
Sub-micron structurele integriteit:Door de thermische spanning uit te schakelen, werd een perfecte dimensionale stabiliteit gewaarborgd voor hoge-precisie Fresnel-lenzen.
-
Verbeterde productie-efficiëntie:Instant UV LED aan/uit mogelijkheden geëlimineerd opwarmtijden, het maximaliseren van de doorvoer voor grote volume halfgeleider lijnen.
[Neem contact op met onze applicatie ingenieurs voor een aangepaste UV LED-oplossing-Shenzhen Super-curing Opto-Electronic CO., Ltd.】



